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发明名称 EQUIPMENT FOR COMPONENTS' ROTATION IN VACUUM DEVICES DURING LAYERS FORMATION
摘要
申请公布号 CS252970(B1) 申请公布日期 1987.10.15
申请号 CS19850009096 申请日期 1985.12.11
申请人 LISKA,DUSAN,CS;PECAR,IVAN,CS;SEMSEY,LADISLAV,CS;GAJDOS,ANDREJ,CS;FERDINANDY,MILAN,CS;KRAL,JOZEF,CS 发明人 LISKA,DUSAN,CS;PECAR,IVAN,CS;SEMSEY,LADISLAV,CS;GAJDOS,ANDREJ,CS;FERDINANDY,MILAN,CS;KRAL,JOZEF,CS
分类号 C23C14/00;(IPC1-7):C23C14/00 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
主权项
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