| 发明名称 |
CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB8719166(D0) |
申请公布日期 |
1987.09.23 |
| 申请号 |
GB19870019166 |
申请日期 |
1987.08.13 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE |
发明人 |
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| 分类号 |
C23C16/18;C23C16/22;C23C16/455;H01L29/417;H01L29/423;H01L29/45;H01L29/49 |
主分类号 |
C23C16/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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