| 发明名称 |
CHEMICAL VAPOR DEPOSITION WAFER BOAT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0167374(A3) |
申请公布日期 |
1987.07.29 |
| 申请号 |
EP19850304671 |
申请日期 |
1985.07.01 |
| 申请人 |
ANICON, INC. |
发明人 |
FOSTER, DERRICK WAYNE;HERRING, ROBERT BRUCE |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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