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发明名称 MANUFACTURE OF INSULATING FILM
摘要
申请公布号 JPS62133605(A) 申请公布日期 1987.06.16
申请号 JP19850272679 申请日期 1985.12.04
申请人 FUJITSU LTD 发明人 AMEMORI KAZUHIKO
分类号 H01B3/00;C23C14/24;C23C14/34;G11B5/31;H01L21/31 主分类号 H01B3/00
代理机构 代理人
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