发明名称 METHOD OF SELECTIVE REMOVAL OF OXIDE COATINGS IN THE MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 US3560280(A) 申请公布日期 1971.02.02
申请号 USD3560280 申请日期 1969.11.21
申请人 HITACHI LTD. 发明人 SUMIO NISHIDA
分类号 H01L21/311;(IPC1-7):H01L7/00 主分类号 H01L21/311
代理机构 代理人
主权项
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