发明名称 MUTUAL CONNECTION OF PLANAR METAL FOR VLSI DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6297353(A) 申请公布日期 1987.05.06
申请号 JP19860184996 申请日期 1986.08.06
申请人 TEXAS INSTR INC <TI> 发明人 RONARUDO II MATSUKUMAN;EBARISUTO GARUSHIA JIYUNIA;MAIKURU TEII UERUCHI;SUCHIIBUN DABURIYU TOMUSON
分类号 H01L23/522;H01L21/768 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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