发明名称 BACK SURFACE TREATMENT METHOD FOR SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPS6292330(A) 申请公布日期 1987.04.27
申请号 JP19850232681 申请日期 1985.10.17
申请人 NEC CORP 发明人 SUZUKI YOSHIAKI
分类号 H01L21/322 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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