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经营范围
发明名称
MOLECULAR BEAM EPITAXY DEVICE
摘要
申请公布号
JPS6291492(A)
申请公布日期
1987.04.25
申请号
JP19850231641
申请日期
1985.10.16
申请人
NEC CORP
发明人
TASHIRO YOSHIHARU
分类号
C30B23/08;H01L21/203
主分类号
C30B23/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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