发明名称 MOLECULAR BEAM EPITAXY DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6291492(A) 申请公布日期 1987.04.25
申请号 JP19850231641 申请日期 1985.10.16
申请人 NEC CORP 发明人 TASHIRO YOSHIHARU
分类号 C30B23/08;H01L21/203 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
地址