发明名称 VACUUM DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6260861(A) 申请公布日期 1987.03.17
申请号 JP19850199785 申请日期 1985.09.10
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SHIKAMA MITSUO
分类号 C23C14/30;C23C14/32;G11B7/26;G11B11/10;G11B11/105 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
主权项
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