发明名称 ION FLOW CONDITIONER
摘要
申请公布号 JPS6252843(A) 申请公布日期 1987.03.07
申请号 JP19850189639 申请日期 1985.08.30
申请人 HITACHI LTD 发明人 OSE YOICHI
分类号 H01J37/317 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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