发明名称 SEMICONDUCTOR GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6245017(A) 申请公布日期 1987.02.27
申请号 JP19850184740 申请日期 1985.08.21
申请人 NEC CORP 发明人 OKAMOTO AKIHIKO;TOYOSHIMA HIDEO
分类号 H01L21/203;H01L21/26 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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