| 发明名称 |
WAFER POSITION DETECTING DEVICE AND METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6241129(A) |
申请公布日期 |
1987.02.23 |
| 申请号 |
JP19850181015 |
申请日期 |
1985.08.20 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
SAKATA KAZUNORI;HIRAGA RYOZO |
| 分类号 |
H01L21/67;B65G1/00;B65G1/07;B65H1/28;B65H7/14;B65H9/00;B65H9/06;B65H9/20;H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/67 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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