能进行辐射聚合的混合物以及制备共聚物的方法

摘要

本发明描述了一种能进行辐射聚合的混合物，其主要组成包含：a)一种能进行自由基聚合的化合物，它具有至少二个带烯键的不饱和端基，在大气压下沸点高于100℃，b)一种在光化性射线作用下能引发化合物a)聚合的化合物，c)一种在水中不溶而在碱性水溶液中可溶的共聚物，该共聚物的组成如说明书所述。这种混合物的特点是在未曝光及曝光的状态下具有高度的柔性与回弹性，它特别适合在遮掩技术中作为干法抗蚀剂材料使用。

主权项

1、一种能进行辐射聚合的混合物，其特点是，主要组成包含：a)一种能进行自由基聚合的化合物，它具有至少二个带烯键的不饱和端基，在大气压下它的沸点高于100℃。b)一种在光化性射线作用下能引发化合物a)聚合的化合物。c)一种在水中不溶而在碱性水溶液中可溶的共聚物，它由下列成分构成：c1)一种α、β不饱和脂肪酸，c2)一种甲基丙烯酸烷基酯，其烷基部分至少有4个碳原子，c3)如果适当的话，再包含一种带烯键的不饱和化合物单体，它能与c1)和c2)共聚，它的均聚物的玻璃化转变温度至少为80℃，其中共聚物的平均分子量大约在50，000至200，000范围内。