| 发明名称 |
UN APARATO PARA DEPOSITAR UNA PELICULA TRANSMISORA DE LUZ Y ELECTRICAMENTE CONDUCTORA EN UN SUSTRATO |
| 摘要 |
MODIFICACIONES EN UN APARATO PARA DEPOSITAR UNA PELICULA TRANSMISORA DE LUZ Y ELECTRICAMENTE CONDUCTORA EN UN SUSTRATO. CONSISTENTES EN LA COMBINACION DE: UN MEDIO PARA INTRODUCIR GAS DE OXIGENO EN LA ZONA DE VAPOR; Y UN CATODO (30) ENERGIZADO CON RADIOFRECUENCIA COLOCADO ADYACENTE A LA FUENTE (4) DE MATERIAL METALICO (3) PARA DESARROLLAR UN PLASMA IONIZADO DE LOS ATOMOS DE GAS DE OXIGENO Y METALICOS EN LA ZONA DE VAPOR MEDIANTE LO CUAL EL APARATO (2) ESTA ADAPTADO PARA DEPOSITAR UNA PELICULA (22) DE OXIDO DE METAL SOBRE EL SUSTRATO. TIENE APLICACION PARA LA PRODUCCION DE DISPOSITIVOS FOTOVOLTAICOS.
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| 申请公布号 |
ES8700977(A1) |
申请公布日期 |
1987.02.16 |
| 申请号 |
ES19850540320 |
申请日期 |
1985.02.12 |
| 申请人 |
ENERGY CONVERSION DEVICES,INC. |
发明人 |
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| 分类号 |
C23C14/06;C23C14/08;C23C14/32;C23C14/44;C23C16/50;H01B5/14;H01B13/00;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/285;H01L31/04;H01L31/18;H01L31/20;(IPC1-7):B05D5/12;H01L21/00 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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