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发明名称
GRAPHITE COVER OF IONIZATION CHAMBER FOR RENE BERNAS-TYPE ION SOURCE
摘要
申请公布号
CS248343(B1)
申请公布日期
1987.02.12
申请号
CS19850001840
申请日期
1985.03.18
申请人
JANATA,MIROSLAV,CS;PETROVIC,JAN,CS
发明人
JANATA,MIROSLAV,CS;PETROVIC,JAN,CS
分类号
H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265
主分类号
H01L21/265
代理机构
代理人
主权项
地址
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