发明名称 GRAPHITE COVER OF IONIZATION CHAMBER FOR RENE BERNAS-TYPE ION SOURCE
摘要
申请公布号 CS248343(B1) 申请公布日期 1987.02.12
申请号 CS19850001840 申请日期 1985.03.18
申请人 JANATA,MIROSLAV,CS;PETROVIC,JAN,CS 发明人 JANATA,MIROSLAV,CS;PETROVIC,JAN,CS
分类号 H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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