发明名称 X-RAY RESTRICTING PLATE FOR EXPOSURE
摘要
申请公布号 JPS6218024(A) 申请公布日期 1987.01.27
申请号 JP19850156110 申请日期 1985.07.17
申请人 CANON INC 发明人 KAWAI YASUO
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
地址