| 发明名称 |
INSPECTION OF DEFECT BY LASER IRRADIATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS622154(A) |
申请公布日期 |
1987.01.08 |
| 申请号 |
JP19850141838 |
申请日期 |
1985.06.28 |
| 申请人 |
MITSUBISHI HEAVY IND LTD |
发明人 |
MURATA MASAYOSHI;KURODA MASAHIRO;YAMAMOTO TAKASHI;OGURO TAKASHI;IWAMOTO KEIICHI |
| 分类号 |
G01N29/04;G01N21/88;G01N21/94;G01N29/00;G01N29/24 |
主分类号 |
G01N29/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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