| 摘要 |
(과제) 기판 상에 실장된 부품을 복수의 방향에서 촬상하는 실장부품의 검사장치에 있어서, 검사시간을 단축시킬 것. (해결수단) 실장부품의 검사장치(1)로서, 전자부품(12)을 복수의 방향에서 촬상하는 각 카메라(IC,OC1,OC2)와, 촬상을 위한 광을 전자부품(12)에 투사하는 겸용 조명(BL)과, 각 카메라(IC,OC1,OC2)와 겸용 조명(BL)을 동기해서 제어하는 동기 제어 장치(30)를 구비하고, 동기 제어 장치(30)는 각 카메라(IC,OC1,OC2)에 설정된 각 노광시간 중 가장 긴 노광시간에 맞춰 겸용 조명(BL)에 점등신호를 출력하는 점등 제어 회로와, 각 각 카메라(IC,OC1,OC2)에 의한 촬상을 실행시키는 촬상신호를 출력하는 촬상 제어 회로를 구비하고, 소정의 촬상신호가 입력된 경우에 점등 제어 회로로부터 점등 신호가 출력됨과 아울러 촬상 제어 회로로부터 가장 긴 노광시간 중 카메라(IC) 및 다른 카메라(OC1,OC2)에 대해서 촬상신호가 출력된다. |
