发明名称 |
APPARECCHIATURA PER PRODURRE UN FASCIO DI ELETTRONI MOLTO STRETTO DI ALTA LUMINOSITA' |
摘要 |
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申请公布号 |
IT1150002(B) |
申请公布日期 |
1986.12.10 |
申请号 |
IT19800019219 |
申请日期 |
1980.01.16 |
申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP |
发明人 |
BROERS ALEC NIGEL |
分类号 |
H01J37/06;H01J37/04;H01J37/28;H01J37/305;H01L21/027 |
主分类号 |
H01J37/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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