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发明名称 PROCEDE POUR FORMER UNE COUCHE D'OXYDE SUR LA SURFACE D'UN SUBSTRAT EN MATERIAU SEMICONDUCTEUR
摘要
申请公布号 FR2543581(B1) 申请公布日期 1986.11.14
申请号 FR19830005354 申请日期 1983.03.31
申请人 FIORI COSTANTINO 发明人
分类号 C23C8/12;C30B33/00;H01L21/316;(IPC1-7):C30B33/00 主分类号 C23C8/12
代理机构 代理人
主权项
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