发明名称 BROWN STAIN SUPPRESSING PHENOL FREE AND CHLORINATED HYDROCARBON FREE PHOTORESIST STRIPPER
摘要
申请公布号 EP0126241(A3) 申请公布日期 1986.09.17
申请号 EP19840103301 申请日期 1984.03.26
申请人 ALLIED CORPORATION 发明人 THOMAS, EVAN GOWER
分类号 H01L21/30;G03F7/42;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/26 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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