SECONDARY ION COLLECTION AND TRANSPORT SYSTEM FOR ION MICROPROBE

摘要

Un système de collecte et de transport d'ions secondaires utilisé avec une microsonde à ions est très compact et occupe une distance de travail réduite, ce qui permet d'obtenir une longueur focale réduite et une résolution élevée du faisceau primaire d'ions. Les ions éjectés de la surface cible (80) par l'impact du faisceau primaire (66) sont recueillis entre deux éléments courbes (84, 86) dont le rayon de courbure et la tension appliquée font que seuls des ions dans une bande d'énergie spécifique sont recueillis. Les ions recueillis sont accélérés et focalisés dans une section de transport (90) comprenant une pluralité d'organes conducteurs espacés coaxiaux avec le trajet voulu (82) des ions, et distribués le long de celui-ci. Des tensions relativement élevées sont appliquées à des sections alternées de transport fin de produire des champs électriques d'accélération suffisants pour transporter les ions à travers la section jusqu'à un analyseur (94) de la masse des ions, pendant que des tensions plus basses sont appliquées aux autres sections de transport afin de focaliser les ions et de ramener leur vitesse jusqu'à un niveau compatible avec l'appareil d'analyse.