发明名称 TUNNELING GATE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 EP0086372(A3) 申请公布日期 1986.08.06
申请号 EP19830100720 申请日期 1983.01.26
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 YATSUDA, YUJI;HAGIWARA, TAKAAKI;HORIUCHI, MASATADA;MINAMI, SHINICHI;KOGA, TORU
分类号 H01L27/112;H01L21/8246;H01L21/8247;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L29/10;H01L29/60 主分类号 H01L27/112
代理机构 代理人
主权项
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