发明名称 |
FORMATION OF GLASS LAYER ON SEMICONDUCTOR SUBSTRATE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS61144043(A) |
申请公布日期 |
1986.07.01 |
申请号 |
JP19850280152 |
申请日期 |
1985.12.12 |
申请人 |
S T C PLC |
发明人 |
PIITAA DENISU SUKOBUERU;SUTEFUAN ROBAATO JIENINGUSU |
分类号 |
H01L21/768;C23D13/02;H01L21/3105 |
主分类号 |
H01L21/768 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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