发明名称 FORMATION OF GLASS LAYER ON SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPS61144043(A) 申请公布日期 1986.07.01
申请号 JP19850280152 申请日期 1985.12.12
申请人 S T C PLC 发明人 PIITAA DENISU SUKOBUERU;SUTEFUAN ROBAATO JIENINGUSU
分类号 H01L21/768;C23D13/02;H01L21/3105 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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