| 发明名称 |
VERFAHREN UND VAKUUMBEDAMPFUNGSAPPARATUR ZUR HERSTELLUNG EPITAKTISCHER SCHICHTEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3541962(A1) |
申请公布日期 |
1986.06.12 |
| 申请号 |
DE19853541962 |
申请日期 |
1985.11.27 |
| 申请人 |
SONY CORP. |
发明人 |
YONEYAMA,KEIICHI;KAISE,KIKUO;AYABE,MASAAKI |
| 分类号 |
C23C16/458;C30B25/02;C30B25/12;H01L21/20;H01L21/205;(IPC1-7):C23C14/50;C23C14/06 |
主分类号 |
C23C16/458 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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