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发明名称 INSPECTION DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6197087(A) 申请公布日期 1986.05.15
申请号 JP19840218299 申请日期 1984.10.19
申请人 TOKYO OPTICAL CO LTD 发明人 NAKAJIMA TOMIO;IKEGAYA KANJI
分类号 H01L21/677;B07C5/342;G01B21/00;G01B21/02;H01L21/67;H01L21/68 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
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