| 发明名称 |
METHOD FOR CONTROLLING SUPERSATURATED IMPLANTATION AND CONCENTRATION OF DIFFERENT ATOMS TO DEEP PART OF SOLID BY HIGH ENERGY ELECTRON RAY |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS6187833(A) |
申请公布日期 |
1986.05.06 |
| 申请号 |
JP19840208304 |
申请日期 |
1984.10.05 |
| 申请人 |
UNIV OSAKA |
发明人 |
MORI HIROTARO;FUJITA HIROSHI |
| 分类号 |
C22C21/00;C22C1/00;C22F1/04;C22F3/00;C23C8/10;C23C8/60;C23C10/28;C23C12/02;C23C14/48;C23C26/00;H01L21/263;(IPC1-7):C22C1/00 |
主分类号 |
C22C21/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
