| 发明名称 |
FABBRICAZIONE DI UN DISPOSITIVO MEDIANTE ATTACCO CON PLASMA |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IT1122657(B) |
申请公布日期 |
1986.04.23 |
| 申请号 |
IT19790024776 |
申请日期 |
1979.07.30 |
| 申请人 |
WESTERN ELECTRIC CO. INCORPORATED |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/302;C23F4/00;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L/ |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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