发明名称 NITRIDE BONDING LAYER.
摘要 Une puce de circuit intégré comporte une couche de nitrure de silicium (4-20) déposée sur le diélectrique intermétallique d'oxyde de silicium et de métallisation supérieur (4-10) sur laquelle une couche de polyimide (4-50) soutient un réseau de conducteurs électriques; la couche de nitrure (4-20) s'étend entièrement sur l'oxyde de silicium (4-10) à partir des voies (4-200) au bord du dé afin de chevaucher les contacts métalliques (4-0,5) connectés de la couche de métallisation aux conducteurs électriques supérieurs.
申请公布号 EP0177562(A1) 申请公布日期 1986.04.16
申请号 EP19850901781 申请日期 1985.03.19
申请人 THOMSON COMPONENTS-MOSTEK CORPORATION 发明人 QUINN, DANIEL, J.;TSITOVSKY, ILYA, L.;MOZDZEN, BARBARA, R.;WILSON, LINDA, S.;HELD, CHARLES, F.;MULHOLLAND, WAYNE, A.;NGUYEN, YEN, T.
分类号 H01L21/312;H01L21/318;H01L23/532;(IPC1-7):H01L23/30;H01L23/50 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
主权项
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