| 发明名称 |
MOLECULAR BEAM EPITAXIAL DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6153195(A) |
申请公布日期 |
1986.03.17 |
| 申请号 |
JP19840174930 |
申请日期 |
1984.08.24 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
OKUNO SUMIO;OKANO KINPEI;MIZUMOTO MUNEO;TAMURA NAOYUKI |
| 分类号 |
C30B23/08;C30B25/02;H01L21/20;H01L21/203 |
主分类号 |
C30B23/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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