发明名称
摘要
申请公布号 JPS5223551(B2) 申请公布日期 1977.06.24
申请号 JP19710074297 申请日期 1971.09.23
申请人 发明人
分类号 H05K3/00;C23F1/00;G03C5/00;G03F7/00;G03F7/039;H01L21/027;H01L21/302;H05K3/06;(IPC1-7):01L21/302;03C5/00;05K3/00;03F7/00 主分类号 H05K3/00
代理机构 代理人
主权项
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