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经营范围
发明名称
GRATING FORMING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPS6142139(A)
申请公布日期
1986.02.28
申请号
JP19840163147
申请日期
1984.08.02
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
SHIONO TERUHIRO;SETSUNE KENTARO;YAMAZAKI OSAMU
分类号
H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
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