发明名称 TREATING METHOD OF SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPS6129124(A) 申请公布日期 1986.02.10
申请号 JP19840149359 申请日期 1984.07.20
申请人 USHIO INC 发明人 SHINDO SACHIKO
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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