发明名称 ELECTRON BEAM SCRANBLER
摘要
申请公布号 JPS6127035(A) 申请公布日期 1986.02.06
申请号 JP19850144875 申请日期 1985.07.03
申请人 VARIAN ASSOC INC 发明人 ROOUERU JIEI FUOTSUKU;JIYOSEFU JIEI MANKA
分类号 H01J25/00;H01J23/087;H01J25/02 主分类号 H01J25/00
代理机构 代理人
主权项
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