发明名称 Procédé de fabrication de dispositifs semi-conducteurs
摘要
申请公布号 FR1221347(A) 申请公布日期 1960.06.01
申请号 FR19590789410 申请日期 1959.03.16
申请人 HUGHES AIRCRAFT COMPANY 发明人
分类号 B28D5/02;C23F1/02;H01L21/00;H01L21/18;H01L21/24;H01L21/306;H01L21/308;H01L29/06;H01L29/73 主分类号 B28D5/02
代理机构 代理人
主权项
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