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发明名称
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BELICHTUNG VON FOTORESISTS.
摘要
申请公布号
CH651423(A5)
申请公布日期
1985.09.13
申请号
CH19820002488
申请日期
1982.04.23
申请人
VEB CARL ZEISS JENA;HITACHI, LTD.
发明人
DIETZ, GUDRUN;GAERTNER, WALTER;RETSCHKE, WOLFGANG;KOIZUMI, YASUHIRO;TORISAWA, SOICHI
分类号
H05K3/00;G03B27/02;G03F7/20;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/312;H01L21/47;G03F7/26
主分类号
H05K3/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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