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发明名称 포토마스크 패턴 검사방법 및 장치
摘要 내용 없음
申请公布号 KR850003061(A) 申请公布日期 1985.05.28
申请号 KR19840006236 申请日期 1984.10.06
申请人 null, null 发明人 마쓰야마 다까요시 (외 1)
分类号 G03F1/38;G03F1/84;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/308;H01L21/66 主分类号 G03F1/38
代理机构 代理人
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