| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR REDUCING CONTAMINATION IN VACCUM TREATING CHAMBER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6077340(A) |
申请公布日期 |
1985.05.01 |
| 申请号 |
JP19840183886 |
申请日期 |
1984.09.04 |
| 申请人 |
VARIAN ASSOC |
发明人 |
ROIERU BARUUKU RIIBAATO;KAARU JIYOOZEFU RASO |
| 分类号 |
C23C14/48;C23C14/56;C23C16/44;C30B31/22;H01J37/18;H01J37/317;H01L21/265 |
主分类号 |
C23C14/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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