发明名称 MATERIALI A BASE DI POLISILANI PER LA FORMAZIONE DI IMMAGINI POSITIVE E METODI PER IL LORO USO.
摘要
申请公布号 IT8520237(D0) 申请公布日期 1985.04.04
申请号 IT19850020237 申请日期 1985.04.04
申请人 UNITED STATES DEPARTMENT OF ENERGY 发明人 HARRAH LARRY A.;ZEIGLER JOHN M.
分类号 G03F7/26;C08G77/00;C08G77/48;C08G77/60;G03C5/00;G03F7/038;G03F7/039;G03F7/075;G03F7/36;H01L21/30;(IPC1-7):G03C/ 主分类号 G03F7/26
代理机构 代理人
主权项
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