| 发明名称 |
NOVEL AZOBENZENE COMPOUND AND NEGATIVE PHOTORESIST COMPOSITION CONTAINING SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6041650(A) |
申请公布日期 |
1985.03.05 |
| 申请号 |
JP19840140754 |
申请日期 |
1984.07.09 |
| 申请人 |
MERCK PATENT GMBH |
发明人 |
GIYUNTERU HAASU;KAARU HAINTSU NAIJIUSU |
| 分类号 |
G03F7/016;C07C67/00;C07C241/00;C07C245/08;C09B29/08;G03F7/004;G03F7/008;G03F7/012;G03F7/038;G03F7/09 |
主分类号 |
G03F7/016 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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