METHOD FOR ETCHING INDIUM PHOSPHORUS,申请号JP19830145520-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	METHOD FOR ETCHING INDIUM PHOSPHORUS
摘要
申请公布号	JPS6036677(A)	申请公布日期	1985.02.25
申请号	JP19830145520	申请日期	1983.08.09
申请人	FUJITSU KK	发明人	OKAZAKI JIROU
分类号	C23F1/40;H01L21/306;H01L21/308	主分类号	C23F1/40
代理机构		代理人
主权项
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