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发明名称 OPTO-ELEKTRONISCHES PRUEFSYSTEM ZUR AUTOMATISCHEN BESCHAFFENHEITSPRUEFUNG VON LEITERPLATTEN, DEREN ZWISCHENPRODUKTE UND DRUCKWERKZEUGE.
摘要
申请公布号 AT9848(T) 申请公布日期 1984.10.15
申请号 AT19800103746T 申请日期 1980.07.01
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 DOEMENS, GUENTER, DR.;HENDRICKS, ULRICH, DIPL.-ING.;SCHNEIDER, RICHARD, DR.;WILD, KARL, DIPL.-ING.
分类号 G01B9/02;G01R31/28;G06K9/00;G06K9/46;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
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