发明名称 INTERLAYER INSULATION FILM FOR JOSEPHSON DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5992583(A) 申请公布日期 1984.05.28
申请号 JP19820201210 申请日期 1982.11.18
申请人 KOGYO GIJUTSUIN (JAPAN) 发明人 NAKANE HIDEAKI;SHIGETA JIYUNJI
分类号 H01L39/22 主分类号 H01L39/22
代理机构 代理人
主权项
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