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发明名称 METHOD FOR REPLENISHING LIQUID NITROGEN TO COLD TRAP
摘要
申请公布号 JPS5959204(A) 申请公布日期 1984.04.05
申请号 JP19820168366 申请日期 1982.09.29
申请人 HITACHI SEISAKUSHO KK;HITACHI SANKI ENGINEERING KK 发明人 TAMAI KENJI;YAMAMOTO NORIAKI;IKUHARA SHIYOUJI;SHIROO KAZUHIRO
分类号 B01D8/00;H01L21/18;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31 主分类号 B01D8/00
代理机构 代理人
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