| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR PERFORMING SPATIALLY UNIFORM, EXTERNALLY EXCITED NONTHERMAL CHEMICAL REACTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5931022(A) |
申请公布日期 |
1984.02.18 |
| 申请号 |
JP19830128702 |
申请日期 |
1983.07.14 |
| 申请人 |
ADOBANSUTO SEMIKONDAKUTAA MATEIRIARUZU AMERIKA INC |
发明人 |
JIYOOJI EMU INGURU |
| 分类号 |
H01L21/205;B01J12/00;B01J19/08;C23C16/509;C30B25/10;C30B33/00;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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