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发明名称
TRANSFER DEVICE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0234941(A)
申请公布日期
1990.02.05
申请号
JP19880186116
申请日期
1988.07.25
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
AOKI HIDEJI
分类号
B65G21/22;B65G17/42;H01L21/50
主分类号
B65G21/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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