发明名称 SEMICONDUCTOR ELECTRICAL PHYSICAL PARAMETER DETERMINATION METHOD
摘要
申请公布号 SU1057887(A1) 申请公布日期 1983.11.30
申请号 SU19823412597 申请日期 1982.03.24
申请人 SMIRNOV VYACHESLAV,SU;PANASYUK VITALIJ N,SU 发明人 SMIRNOV VYACHESLAV I,SU;PANASYUK VITALIJ N,SU
分类号 H01L21/66;G01R31/26;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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