发明名称 PROCEDE POUR LA FABRICATION DE TRANSISTORS MOS COMPLEMENTAIRES DANS DES CIRCUITS INTEGRES A HAUTE DENSITE POUR TENSIONS ELEVEES
摘要 LE PROCEDE COMPREND DEUX PHASES DISTINCTES POUR LA FORMATION DE LA REGION DE TYPE P (P-WELL), DESTINEE A RECEVOIR LE TRANSISTOR A CANAL N DE LA PAIRE DE CMOS ET CELLE DE L'ANNEAU DE GARDE DE TYPE P QUI ENTOURE LE MEME TRANSISTOR. L'EMPLOI D'UNE MATIERE RESISTANTE AUX HAUTES TEMPERATURES, COMME LE SILICIUM POLYCRISTALLIN, PERMET D'UTILISER UN SEUL MASQUE 12A, B POUR LE DOPAGE ET LA DIFFUSION DU P-WELL ET DE L'ANNEAU P. MEME AVEC LE MAXIMUM DE DENSITE D'INTEGRATION, ON OBTIENT DES TRANSISTORS DONT LES TENSIONS DE SEUIL SONT INDEPENDANTES DE LA LARGEUR DE LEURS CANAUX DE CONDUCTION.
申请公布号 FR2525030(A1) 申请公布日期 1983.10.14
申请号 FR19830005752 申请日期 1983.04.08
申请人 SGS ATES COMPONENTI ELETTRONICI 发明人 GIANFRANCO CEROFOLINI
分类号 H01L27/092;H01L21/033;H01L21/266;H01L21/8238;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L27/092
代理机构 代理人
主权项
地址