| 发明名称 |
GLOW DISCHARGE DEPOSITION DEVICE CONTAINING NON-HORIZONTALLY PLACED CATHODE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS58174570(A) |
申请公布日期 |
1983.10.13 |
| 申请号 |
JP19830050310 |
申请日期 |
1983.03.25 |
| 申请人 |
ENERGY CONVERSION DEVICES INC |
发明人 |
PURESU NASU;DEEBITSUDO ACHIRIO KATSUTSUSO |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/505;H01J37/32;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/31 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
