| 发明名称 |
MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR UNIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS58164134(A) |
申请公布日期 |
1983.09.29 |
| 申请号 |
JP19820045617 |
申请日期 |
1982.03.24 |
| 申请人 |
HITACHI SEISAKUSHO KK |
发明人 |
ITOU HARUO;TOKIKUCHI KATSUMI;KETSUSAKO MITSUNORI;SAITOU TADASHI;TOKUYAMA TAKASHI |
| 分类号 |
H01J37/147;H01J37/317;H01L21/223;H01L21/265 |
主分类号 |
H01J37/147 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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